В Зеленограде состоялась презентация новейшего оборудования, разработанного местными компаниями НИИМЭ и НИИТМ, которое предназначено для процессов плазмохимического осаждения и травления, являющихся ключевыми этапами в производстве чипов. Это оборудование производят всего пять компаний в мире.
На мероприятии, прошедшем 10 декабря, были подписаны завершающие документы о госприемке, сообщили представители организаций. НИИ молекулярной электроники стал ведущим исполнителем проекта, обеспечив строительство чистых помещений и разработку технологических процессов. Инвестиции составили 2,5 млрд рублей из госзаказов Минпромторга и собственных средств НИИМЭ.
Созданные системы позволяют производить интегральные микросхемы с топологическим уровнем до 65 нм на пластинах 200 и 300 мм. Это оборудование даст возможность гибко адаптироваться к текущим и будущим производственным процессам.
Разработчики уверены, что НИИМЭ и НИИТМ теперь входят в число пяти компаний мира, обладающих подобными технологиями. Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов отметил, что это достижение открывает новые горизонты для отечественной микроэлектроники. В следующем году планируется презентация оборудования в Китае, и производители уверены, что найдут своих заказчиков.