Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на создание автоматизированной установки «Лучник». Общая сумма контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Это оборудование будет иметь ключевое значение для производства микросхем, так как оно обеспечивает точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Основная задача проекта — разработать российский аналог установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. «Лучник» будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, контролируя точность наложения слоев до 130 нм и обеспечивая производительность не менее 75 пластин в час. Установка будет использовать встроенные интерферометры и алгоритмы машинного зрения для мгновенной коррекции. Разработка требует высокой точности и завершения до июля 2029 года. Завод «Микрон» будет одновременно и разработчиком, и потребителем, что повысит шансы на успех проекта благодаря наличию производственной линии 200-миллиметровых пластин.