Литографические сканеры – это не единственный необходимый элемент для производства полупроводников. Хотя технологии EUV остаются недоступными для китайских специалистов, местное оборудование все чаще применяется для более простых операций. По данным TrendForce, ссылаясь на китайские источники, в 2022 году доля отечественного оборудования в производстве чипов выросла до 35%, превысив целевой показатель в 30% на 2025 год. В 2024 году этот показатель составлял всего 25%. В сфере травления кремниевых пластин и нанесения тонких пленок доля китайских изделий уже превышает 40%. Оборудование Naura отвечает за более 60% нужд SMIC в производстве 28-нм чипов. На фоне спроса, который вырос на 80%, власти требуют, чтобы новые линии оснащались местным оборудованием не менее чем на 50%. Это ограничивает расширение мощностей, так как отечественного оборудования не хватает. В 2022 году было оформлено 421 заказа на сумму $122 млн для субсидирования закупок.