Литографические машины от ASML, предназначенные для производства полупроводников, нашли необычное применение благодаря компании IMEC. Теперь с их помощью можно создавать нанопоры — крошечные отверстия размером в несколько нанометров, которые в 10 000 раз тоньше человеческого волоса. Эти нанопоры имеют важное значение в биомедицине, применяясь для секвенирования ДНК, создания биомедицинских датчиков и доставки лекарств.
Недавно команда IMEC разработала метод массового производства нанопор с использованием EUV-литографии. Это позволяет создать точные и однородные массивы нанопор на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния, что значительно упрощает процесс. Их концепция была представлена на Международной конференции по электронным устройствам IEEE 2025.
Таким образом, нанопоры могут перейти из лабораторий в клиники и исследовательские центры, что откроет двери для нового поколения диагностики, улучшения геномики и персонализированной медицины.